日時:2012年2月20日(月)14:00~15:30
場所:電気通信研究所2号館W棟W214号室
講演題目:電子ビーム露光法による微細加工技術(GHz 帯弾性表面波変換器への応用)
講演者:目黒敏靖(研究基盤技術センタープロセス部)
主催:東北大学電気通信研究所研究基盤技術センター
備考:詳細は開催案内ポスター
問合せ先:東北大学電気通信研究所 先端音情報通信研究室  技師長 齋藤文孝

開催日時 :
2012年2月20日(月)14:00~15:30
開催場所 :
電気通信研究所2号館W棟W214号室