大野英男教授らのグループが「DPS 2011 Best Paper Award」を受賞しました。

これは昨年行なわれたDPS2011(International Symposium on Dry Process 2011) において発表された論文のうち、最も優れた論文として選ばれ、2012年11月15日に行なわれたDPS2012において授与されたものです。

  • 論文タイトル:“Damage recovery by reductive chemistry after methanol based plasmaetch to fabricate magnetic tunnel junction”
  • 発表者:K. Kinoshita, T. Yamamoto, H. Honjo, N. Kasai, S. Ikeda and H. Ohno

 

問い合わせ先

電気通信研究所 ナノスピンメモリ研究室
(准教授)池田 正二 TEL:022-217-5514

省エネルギー・スピントロニクス集積化システムセンター
(教授)笠井 直記 TEL:022-217-6115