History of UHV-STM/SNDM (No. 2)

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  • 1 (2011-05-11 (Wed) 03:00:59)
  • 2 (2011-05-11 (Wed) 04:52:35)

試料の傾きとslopeノブの回転方向の関係†

リトラクトせずにSTMからNC-SNDMに切り替える方法†

1. フィードバックをかけたまま，チューブスキャナのZ方向のオフセット電圧をゆっくり（※1）と調整し，チューブスキャナが伸びた状態，すなわちZ変位がプラスになるようにする（※2）．例えば，+10V程度になるように調整する（※3）．
   • ※1 探針・試料の破壊を抑制するため，急激な操作は避ける
   • ※2 (2)に述べるリセット動作をさせた際，チューブスキャナが縮む方向に動くようにするため
   • ※3 大きく変位させると圧電素子の特性が顕著に現れ，元の位置からのズレが大きくなると考えられるため
2. コントローラの前面パネルにあるRESETスイッチを「RESET」側（上）に倒す． この操作により，フィードバック(FB)がOFFになると同時に，チューブスキャナのZ方向にかかる電圧が，ほぼ０Vに固定される．
3. フィードバックゲイン，時定数，セットポイント，バイアス電圧をNC-SNDM用に変更する．また，その他の機器設定を確認する．必要なら，プリアンプを付け替える（※4） ※4 ただし，装置をできるだけ振動させないこと
4. コントローラ背面のスイッチでフィードバック信号をトンネル電流（プリアンプ出力）からε4(2ω)振幅へ切り替える
5. 2でRESET側に倒したスイッチを中央に戻すと，フィードバックがONになり，Z電圧の固定が解除されて，切り替えが完了する．必要ならZ方向のオフセット電圧を調整する．　　　　　　　　　

Zドリフト補正†

1. コントローラ背面の「MONITOR OUTPUTS」の「Z SCAN」と「DSP A/D1」を接続
2. 「DSP　DAC」と「Z SCAN#1」を接続
3. XPM ProのNavigation WindowでEnable AUX/Feedbackにチェックを入れる （パラメータ設定はとりあえずデフォルト値のままでよい）

※アプローチ・凹凸の激しい場合・リトラクトせずにSTM/SNDMを切り替える場合はいったん補正を停止した方が無難