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試料の傾きとslopeノブの回転方向の関係†
リトラクトせずにSTMからNC-SNDMに切り替える方法†
- フィードバックをかけたまま,チューブスキャナのZ方向のオフセット電圧をゆっくり(※1)と調整し,チューブスキャナが伸びた状態,すなわちZ変位がプラスになるようにする(※2).例えば,+10V程度になるように調整する(※3).
- ※1 探針・試料の破壊を抑制するため,急激な操作は避ける
- ※2 (2)に述べるリセット動作をさせた際,チューブスキャナが縮む方向に動くようにするため
- ※3 大きく変位させると圧電素子の特性が顕著に現れ,元の位置からのズレが大きくなると考えられるため
- コントローラの前面パネルにあるRESETスイッチを「RESET」側(上)に倒す.
この操作により,フィードバック(FB)がOFFになると同時に,チューブスキャナのZ方向にかかる電圧が,ほぼ0Vに固定される.
- フィードバックゲイン,時定数,セットポイント,バイアス電圧をNC-SNDM用に変更する.また,その他の機器設定を確認する.必要なら,プリアンプを付け替える(※4)
※4 ただし,装置をできるだけ振動させないこと
- コントローラ背面のスイッチでフィードバック信号をトンネル電流(プリアンプ出力)からε4(2ω)振幅へ切り替える
- 2でRESET側に倒したスイッチを中央に戻すと,フィードバックがONになり,Z電圧の固定が解除されて,切り替えが完了する.必要ならZ方向のオフセット電圧を調整する.
Zドリフト補正†
- コントローラ背面の「MONITOR OUTPUTS」の「Z SCAN」と「DSP A/D1」を接続
- 「DSP DAC」と「Z SCAN#1」を接続
- XPM ProのNavigation WindowでEnable AUX/Feedbackにチェックを入れる
(パラメータ設定はとりあえずデフォルト値のままでよい)
※アプローチ・凹凸の激しい場合・リトラクトせずにSTM/SNDMを切り替える場合はいったん補正を停止した方が無難