研究紹介

どんなことをしているの?

新材料の背後にある物理の解明とそのデバイス応用

[佐藤(茂)・遠藤]・吹留研究室)

本研究室では、従来のシリコン(Si)系半導体の性能を飛躍的に向上させるカーボン系ナノ構造や新材料を開発し、これらを用いたデバイスを作製する研究を行っています。
革新的ナノ材料の研究:Si基板と異種材料を組み合わせることで、シリコンに出来ない特殊な機能を実現できます。Siと異種材料との橋渡しとしてSi基板上の炭化珪素(SiC)の低温製膜を行い、このSiC薄膜上のグラフェン(上図)の形成に世界で初めて成功しています(下図)。
デバイス研究:グラフェンは電子や正孔がシリコンより100倍速く走る夢の材料です。THz通信デバイスや光エレクトロニクスへの応用をめざし、デバイス開発を行っています。

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