ナノ・スピン実験施設では、最先端の半導体関連分野の装置・設備を備えたクリーンルームを運用しています。極微細な回路パターンを高精度で描画する電子線描画装置やレーザー描画装置、微細パターンの評価を行う電子顕微鏡や表面測定機器、半導体素子の材料となる様々な物質の薄膜を形成する成膜装置、薄膜を所望の形状に加工するエッチング装置などを備えており、これらの装置・設備の一部は企業など外部の方も利用頂けます。見学コースではクリーンルーム及び機器・設備をご覧頂きながら、施設で行われている研究や、各機器の特徴についてご紹介いたします。