技術ショーケース4 最先端の研究を支える電気通信研究所の共同利用設備のご紹介 技術ショーケース 14:20-14:50 A5 A会場(1F オープンセミナールーム) 東北大学 電気通信研究所 教授 佐藤 茂雄 半導体やスピントロニクスなどの研究を支える各種共同利用設備について紹介します。高清浄のクリーンルームや最先端の電子ビーム露光装置などの説明に加え、代表的な成果やこれらの装置の利用方法についても紹介します。