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東北大学 電気・情報技術連携フォーラム
電子線描画装置
施設や装置を利用したい方
相談会 事前予約に関するおしらせ

 10:00 - 16:30 のうち、1コマ30分
C20
C-展示会場- (1F M107)
研究基盤技術センターでは、サブミクロンからナノサイズの微細な構造を観察して組成分析ができる電子顕微鏡や、試料がどんな物質でできているのか定性分析ができるX線回折装置、半導体デバイスの作製に必要な極微細パターンを高精度に形成する電子線描画装置やレーザー描画装置などの提供を行っています。これらの装置は企業など外部の方も利用できます。ご自身で操作できる装置もございますし、受託分析や受託作製なども承っておりますので、お気軽に評価・分析相談、技術相談にお越しください。
電子顕微鏡像
電子顕微鏡像

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