超高分解能（原子分解能を持つ）走査型非線形誘電率顕微鏡の開発とそれを用いた材料（含む新規半導体・カーボン系材料）の評価

　SNDMは半導体やカーボン系材料等においては既に原子分解能を達成しています。即ち国産初の原子分解能を有し更に原子双極子モーメントが実空間で観察できる顕微鏡として広く認知されており、今後新規材料の電気特性を原子レベルで評価できる顕微鏡として活躍することが期待されています（図2）。

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