走査型非線形誘電率顕微鏡法の開発

10e-22Fという桁違いに高い世界最高感度の静電容量変化を検出できる走査型非線形誘電率顕微鏡を実現し原子分解能も達成した。本成果は、最先端の半導体デバイス評価に適用することができ、日本の半導体産業を含む電子産業の発展に大きく貢献している。即ちますます発展するナノテクノロジーを支える重要な計測手段として応用され高密度記憶装置や高密度・大規模集積回路及び高性能パワー半導体素子の実現に寄与している。

受賞した賞に関するリンク先：http://www.d-nanodev.riec.tohoku.ac.jp/index-j.html

問い合わせ先

電気通信研究所
情報デバイス部門
誘電ナノデバイス研究室

（教授）長　康雄