日時：2012年2月20日（月）14:00～15:30
場所：電気通信研究所2号館Ｗ棟W214号室
講演題目:電子ビーム露光法による微細加工技術（GHz 帯弾性表面波変換器への応用）
講演者：目黒敏靖（研究基盤技術センタープロセス部）
主催：東北大学電気通信研究所研究基盤技術センター
備考：詳細は開催案内・ ポスター
問合せ先：東北大学電気通信研究所　先端音情報通信研究室  技師長　齋藤文孝