電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ　エレクトロニクスレター論文賞
「SGT試作のためのSi柱側壁の犠牲酸化」

大学院生の日高剛君・中村広記助手・舛岡富士雄教授がエレクトロニクスレター論文賞を受賞しました． この賞は，エレクトロニクスソサイエティ和文論文誌（以下和文論文誌と略す）に発表されたレターのうち，特に優秀なものを 選び，その著者に授与されるものです．

受賞内容は，「SGT試作のためのSi柱側壁の犠牲酸化」の研究です．

受賞した賞に関するページ：http://www.toyoag.co.jp/ieice/S_top/index_event2.html#c

問い合わせ先

電気通信研究所
情報デバイス研究部門
固体電子工学研究分野

中村  広記  TEL:022-217-5486